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行业及应用
光刻胶去除及芯片封装
氧等离子清洗机用于半导体晶圆|芯片制造中光刻胶和SU-8的处理和清洗。
电路板刻蚀除胶及活化
电路板等离子除胶机，用于PCB/FPC刻蚀除胶及活化清洗及活化真空处理。
锂电池应用
大气等离子处理机用于去除镍片/电芯极柱端有机物的表面活化、清洗。卷对卷等离子处理极片材料。
3C应用
大气、真空等离子处理机用于3C制造的各个环节。
一般工业应用
等离子清洗机适用于手机、太阳能、医疗、汽车、锂电池、新材料等行业。
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